技术性基礎

作为测量标准是一个高度精确的 Strichgittertteilung 有酒吧和空间周期性排列。 破折号和间隙被称为间距间隔。

信号周期

当扫描栅距产生的正弦信号，其周期对应于一个节距间隔。

正弦测量信号是根据所期望的分频因子n次由电子电路分割并转换成矩形波信号。

最小数量的步骤，这可被表示为在显示装置中的音调间隔和插值的功能。

每转验证间隔的数目（旋转角度检测）。

参考标记用于在所述测量部的某一位置来唯一指定的计数值。

在这个位置，信号峰（参考脉冲）被产生。

路过的时候在参考标记从两个方向上的一个罪名准确的参考脉冲输出可重复性。

监测的采样。

一个测量系统的本质特征，类的准确性（例如，±5微米/米）被指定。

通过这个方法，幅值误差，基线漂移和相位误差将被实时采集并修正。

偏差的测量系统和加工面之间的横向距离。

自由的，在扫描单元的安装程度。